精密微細加工

精密加工能力

当社の精密微細加工により、直径±0.001mm、長さ±0.002mm、位置±0.003mmの寸法精度を実現。幾何精度は真円度0.0005mm、円筒度0.001mm、平面度0.001mm。表面品質は粗さRa0.01～0.2μmで、表面は傷がなく鏡面仕上げに近いです。最小部品直径 φ0.01mm、最小フィーチャ サイズ 0.02mm のサイズ範囲。加工公差はIT2～IT6精密級。ステンレス鋼、チタン合金、超硬合金、セラミックス、サファイア、エンジニアリングプラスチックなどの超精密加工に適した材質です。

精密マイクロマシニングステーションの精度

超精密加工

三羅精密の精密微細加工工場の超精密加工には、精密マイクロ旋削加工（ダイヤモンドカッター、カッターノーズR0.05mm、表面Ra0.05μm、スピンドルエアベアリング回転精度0.0002mm）、精密マイクロミーリング（ダイヤモンドコーティングフライスΦ0.1～1mm、回転数80000rpm、表面Ra0.1μm）、超精密研削加工が含まれます。ダイヤモンド砥石（粒度W1.5、表面Ra0.02μm）、研削・研磨（遊離砥粒研削、化学機械研磨CMP、表面Ra<0.01μm）、複合超精密加工（ターングラインドコンパウンド、ミルグラインドコンパウンド、1回のクランプで誤差除去、同心度0.002mm）。

品質保証体制

Sanluo Precision は精密微細加工の専門メーカーとして、品質を厳しく管理しています。温度 20±0.1℃、湿度 50±2%、清浄度 Class10000、振動 <0.5μm のアクティブ防振プラットフォームを備えた恒温恒湿実験室。超精密工作機械主軸回転精度0.0002mm、位置決め精度0.0005mm。ダイヤモンド カッターの振れ <0.001 mm、精度を確保するための摩耗補正。レーザー干渉計、白色干渉計、ナノメートルレベルの検出精度を持つ原子間力顕微鏡（AFM）、精度0.0005mmの三次元測定機。応用分野としては、ハイエンド機器（モジュール0.1mmの精密減速機遊星歯車、真直度0.001mm/100mmの露光機ガイドレール）、精密機器（先端曲率半径10nm未満の原子間力顕微鏡プローブ）、医療用インプラント（φ0.3mm、16極の人工内耳電極、肉厚0.3mmのペースメーカーシェル、気密性<10⁻⁹Pa・m3/s）、光電子デバイス（穴径φ0.125mm、同心度0.001mmの光ファイバコネクタセラミックフェルール、平面度0.0005mmのレーザ共振器）。当社は、Zeiss、Leica、Medtronic、Corning などの企業にカスタマイズされた精密微細加工サービスを提供しており、超精密部品の認定率は 99.9% です。

機器の技術的パラメータ